中微公司全球首台气相高选择性刻蚀设备付运

中微公司宣布，其Primo Domingo气相高选择性刻蚀设备全球首台机已付运国内一家重要集成电路研发制造客户。该设备面向芯片架构三维化趋势，用于高选择性去除特定材料，配合先进逻辑… [原文链接]