中微公司首台高选择性刻蚀设备付运客户

中微公司宣布，其Primo Domingo®气相高选择性刻蚀设备全球首台机已付运国内一家重要集成电路研发制造客户。该设备面向GAA、3D NAND、3D DRAM等三维器件工艺需求… [原文链接]