日本卫浴企业 TOTO（东陶）于当地时间 10 月 30 日宣布，将在其福冈丰前生产基地内新建一座半导体用途陶瓷生产设施，总建筑面积 3.6 万平方米，总投资额 600 亿日元（约合 25.35 亿元人民币），预计 2029 财年上半年投产。
根据披露信息，新工厂将生产新一代静电吸盘和气溶胶沉积（AD）薄膜。这两类产品均应用于半导体制造中的蚀刻工艺，具备较强的等离子体腐蚀耐受性能。静电吸盘用于在真空环境下固定晶圆，是蚀刻、沉积等关键制程中的核心零部件；AD 薄膜则通过气溶胶沉积工艺形成陶瓷涂层，同样服务于对耐腐蚀性要求较高的半导体设备场景。
除福冈新工厂外，TOTO 还计划在位于大分中津的两家工厂购置下一代 AD 组件的量产设备，相关投资额约为 110 亿日元（约合 4.65 亿元人民币），预计 2028 财年投产。两笔投资合计约 710 亿日元，投产时间集中在 2028 至 2029 财年。
TOTO 长期以卫浴产品为主要业务，但其陶瓷材料技术已延伸至半导体零部件领域。静电吸盘等陶瓷部件属于半导体设备的关键耗材与核心组件，此前该市场主要由日本、美国等少数材料企业主导。随着先进制程对蚀刻精度和零部件耐腐蚀性要求提升，相关陶瓷部件的需求持续增长。
此次扩产反映出半导体设备供应链上游材料环节的产能竞争正在加剧。TOTO 通过新建工厂和量产设备投资，试图在半导体陶瓷零部件领域扩大份额，其产能落地节奏将与全球晶圆厂设备支出周期形成对应关系。
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