半导体设备等离子体电源供应商江苏神州半导体科技股份有限公司（以下简称“神州股份”）将于11月16日接受上交所科创板上市委审议。招股书显示，2023年至2025年公司营收分别为2.61亿元、4.46亿元、6.54亿元，三年复合增速达58.31％；同期扣非净利润从5639.27万元增至1.98亿元，复合增长率87.51％。在国产半导体零部件替代进程中，这家从射频电源维修起步的公司已进入中微公司、拓荆科技、北方华创等头部设备商供应链，但其大客户集中度、毛利率波动与经营现金流问题同样受到市场关注。
神州股份成立于2016年，创始人朱培文自2001年起在扬州从事DVD生产设备射频电源维修，2008年转向射频电源及远程等离子发生器研发。公司目前拥有等离子体射频电源系统、远程等离子体源系统、高压脉冲电源系统三条产品线，完成了从维修服务商向自研产品供应商的转型：自研产品收入占比从2023年的8.21％提升至2025年的55.11％，2026年上半年仍保持过半。按弗若斯特沙利文2025年销售额口径统计，其等离子体射频电源系统国内市占率为3.8％，位列本土厂商第二；远程等离子体源系统本土市占率4.37％，居本土企业首位。
不过，全球市场仍由外资主导。2025年中国大陆等离子体射频电源系统市场中，MKS、AE、DAIHEN、霍廷格四家外企合计份额超过75％，全球市场合计份额为73％；远程等离子体源系统领域，MKS、AE、NPP三家外企占全球近65％份额，国内市场合计份额达67.74％。弗若斯特沙利文数据显示，2025年国内半导体等离子体射频电源系统国产化率仅13％，远程等离子体源系统国产化率不足7％，国产替代空间与差距并存。
业绩高增长背后，客户结构集中度持续上升。2023年至2025年，神州股份前五大客户收入占比从39.31％升至72.89％，2026年上半年进一步升至73.53％。第一大客户中微公司2025年贡献主营业务收入的49.19％，并贡献超过五成毛利。中微公司全资子公司中微半导体与智微攀峰、智微厚德构成一致行动关系，合计持有神州股份5.5742％股权，形成客户与股东双重身份。2026年上半年，公司对中微公司射频电源销售同比下滑72.32％，同期高压脉冲电源放量至4631.26万元，对冲了射频电源的下滑，但产品结构变化主要由下游客户采购节奏驱动。
盈利能力方面，神州股份毛利率显著高于同业。2025年主营业务毛利率66.65％、综合毛利率65.8％，而恒运昌、英杰电气、先锋精科、富创精密同期毛利率分别为47.97％、34.92％、29.02％、22.23％，可比公司平均值为33.54％。公司解释称，差异源于业务结构、产品与客户群体不同，且更聚焦高技术附加值、高研发难度的先进制程领域。但2026年上半年主营业务毛利率降至62.56％，低于上年同期的68.92％；其中远程等离子体源系统收入8249.66万元，已超2025年全年水平，毛利率却从63.67％降至51.54％，公司称系销售规模增长后应客户要求适当降价，定价权受客户影响的程度有所显现。
费用与现金流端压力同步累积。2025年公司研发人员平均薪酬47.17万元，高于同行业可比公司平均水平；2026年上半年研发费用同比增长22.29％。截至2026年6月末，应收账款余额2.70亿元，较2025年末增长约28％；存货2.70亿元，增长27％。受备货与回款节奏影响，2026年前三季度经营现金流净额同比下滑41.79％至8387.27万元。
财务结构方面，神州股份2025年资产负债率仅11.01％，2026年上半年为12.76％，2026年中期末货币资金5.65亿元，流动比率与速动比率均超安全警戒线，短期偿债压力较小。但据公司测算，2026年至2028年存在约3.47亿元营运资金缺口。在IPO募资计划中，公司原拟使用约3.1亿元募集资金补充流动资金，二次问询后取消该补流项目，并将“先进工艺节点集成电路领域电源类零部件研发及产业化项目”中价值2900万元的部分建造计划转为自有资金承担，拟募资总额由25.22亿元降至21.83亿元。募投项目达产后的产能消化问题，监管层在两轮问询中均有追问。
从行业角度看，神州股份的上市进程是国产半导体零部件厂商在资本市场的又一次试探。等离子体电源作为刻蚀、薄膜沉积、腔室清洗等环节的关键部件，其国产化率仍处低位，本土厂商在技术积累与客户验证上具备成长空间。但客户集中度高、产品定价受下游牵引、扩产与营运资金需求并存，意味着公司在获得资本市场支持后，仍需在客户结构多元化与现金流管理上给出更清晰的答案。
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